信息來源：江蘇英思特半導體科技有限公司
選配模塊：1.蝕刻液在線降溫系統（0℃以下，±0.5℃）
??????????????????2.蝕刻液循環過濾系統
??????????????????3.漏液檢測系統
??????????????????4.水阻率監測系統
??????????????????5.花籃（哇晶片）旋轉系統，轉動速度可調
??????????????????6.自動供給CDS（微補）系統
??????????????????7.廢液回收系統
??????????????????8.可結合客戶端通訊協定資料儲存、CIM系統、資料分析儲存建立管理
??????????????????9.純水節省功能，純水排放分為回收水管路和廢水排放管路，通過程序可以???設定回收純水的倒洗開始周 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?期，??以及開始回收的任意時間節點，待料時慢速溢流流純水實現回收使用
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