? ? ? ?氣浮導軌基于氣體動靜壓效應,實現無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。因其誤差均化作用,可用比較低的制造精度來獲得較高的導向精度。通常與伺服驅動,傳感器組成閉環系統,實現高精度位移定位。氣浮導軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應用。
超精密工作臺常用導軌有滾動導軌、靜壓導軌等,滾動導軌的應用己經有好多年,滾動導軌的運動精度達到微米級,摩擦因數可以降低到0.002至0.003。滾動導軌的優點是滾動摩擦阻力小,沒有滑動導軌的爬行、浮動現象,但滾動導軌的摩擦大、抗震性差、運動不平穩、壽命低,在應用方面有所欠缺。氣浮導軌相對于普通滾動導軌有著如下的優點
(1)導軌面間是氣體潤滑,其摩擦系數極小(約為0.0005左右),故驅動功率可大大降低;
(2)因系非接觸性摩擦,故導軌磨損極小,壽命長,能長期保持制造精度,減少了維修工作量;
(3)氣膜具有誤差均化作用,可提高導軌運動精度;
(4)氣膜厚度幾乎不受速度的影響,即使在極低速時也不會產生爬行,運動平穩;
(5)幾乎不產生熱量,不會發生粘度變化,無需添加冷卻措施。
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