項目 | 部件 | 基本參數(shù) | 補充說明 |
**配套 | VHX顯微鏡 | 鏡頭Z20T,帶鏡頭固定圈VHX-J20T。主機 VHX7000, | 該部件由甲方提供,請確認型號。 |
包括部件 | 1.XY運動平臺 | 電動。 XY行程200mm*150mm。 XY軸直線度優(yōu)于15um。 XY軸垂直度優(yōu)于20um。 臺面尺寸250mm*200mm,采用黑色陽極氧化鋁合金板材。 | 步進電機+滾珠絲桿驅(qū)動,配有光柵尺檢測位置。光柵尺分辨率1um,線性度優(yōu)于10um。 最小定位步距≤10um。 **移動速度25mm/s 。 平臺移動,可由USB手柄操作,速度多級可調(diào)。也可由軟件界面的按鈕操作。 |
2 傾斜觀察 | 手動。范圍-60度~90度。 | 可在任意角度鎖死,穩(wěn)定性好。 | |
3 鏡頭升降 | 電動。升降范圍≥40mm | 步進電機+梯形絲桿驅(qū)動。可鎖緊防抖。 | |
4 測量軟件 | 實現(xiàn)跨視場測量,精度優(yōu)于20um。 功能包括:單點XY坐標記錄;2點距離;1點到直線(2點)的距離;3點確定圓心和半徑等。 | 軟件安裝在VHX主機上。 |
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