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隔振系統(tǒng)總體分成被動(dòng)式和主動(dòng)式兩大類。
主動(dòng)式隔振系統(tǒng)價(jià)格昂貴,并且需要對(duì)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境的振動(dòng)特性進(jìn)行有針對(duì)性的設(shè)計(jì),通常僅用在特殊場(chǎng)合,例如隔絕2Hz以下的**頻振動(dòng)用于地震波測(cè)量。
被動(dòng)式隔振系統(tǒng)通常可以勝任絕大多數(shù)情況,從普通的大學(xué)實(shí)驗(yàn)室到高端的晶圓生產(chǎn)線。我公司主要提供被動(dòng)式隔振系統(tǒng),具體產(chǎn)品形式有兩種:氣囊式和活塞式。相關(guān)產(chǎn)品在尼康、基恩士和奧林巴斯等高端顯微鏡的具體應(yīng)用中表現(xiàn)出良好的隔振效果。
被動(dòng)隔振在低頻段的效果較差。根據(jù)振動(dòng)理論,無動(dòng)力的機(jī)械系統(tǒng),對(duì)低頻激勵(lì)有跟隨特性,而對(duì)高頻激勵(lì)有明顯的衰減作用。被動(dòng)隔振,只有當(dāng)工作頻率大于系統(tǒng)(隔振器和設(shè)備)共振頻率時(shí)才有隔振效果,簡(jiǎn)單講,隔振器就是一個(gè)彈簧和一個(gè)阻尼器,將設(shè)備和基座連接在一起。低頻段隔振,意味著系統(tǒng)的共振頻率必須做的很低,那么隔振器的彈簧就要很軟,也就是彈簧的剛度要小,而很軟的彈簧其強(qiáng)度和穩(wěn)定性都受到限制,因此被動(dòng)隔振在低頻段的隔振效果很差,甚至起不到隔振效果。
兩種產(chǎn)品形式的區(qū)別在于:一、氣囊式。其類似于汽車輪胎的緩沖原理,適合于低端場(chǎng)合。二、活塞式。其金屬氣室具有活塞式結(jié)構(gòu),隔振效果主要由氣室壓力和系統(tǒng)阻尼決定,隔振性能明顯要優(yōu)于氣囊式。
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