Aris/Soto精密設備主動防震臺-至一科技
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用途:用于消除或降低地表附近震動源產生的震動,從而消除或減少由于地表震動 (包括附近建筑和設備所產生的震動)傳導入精密測量設備而引起的震動干擾,保證精密測量設備的運行環境和工作狀態
應用:
光學顯微鏡
原子力顯微鏡AFM
電子顯微鏡(EM),包括掃面電子顯微鏡SEM,透射電子顯微鏡TEM
掃描隧道顯微鏡STM
掃描探針顯微鏡SPM
聚焦離子束系統FIB
雙電子束系統DualBeam
半導體設備
光刻機
晶圓探測器
電阻拓展測試系統
激光設備
光通信設備......
性能:
主動防震自由度:6維
主動防震頻率:0.5~100Hz
防震性能:-8dB gain at 1Hz;-20dB gain at 2Hz
Setting Time:<=0.1Sec
售后服務優勢:
1、系統內置實時診斷工具
2、系統內置實時性能調整工具






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