等離子去膠機采用高密度微波等離子技術，微波等離子清洗機作為一種綠色無污染的高精密干法清洗方式, 可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷，微波等離子清洗機廣泛用于半導體生產中晶圓的清潔和等離子體預處理，微波等離子高度活性、高效，且不會對電子裝置產生離子損害。
微波等離子清洗去膠設備是下列用途的理想方式：
等離子體表面改性
有機物表面等離子體去膠
邦定強度增強
等離子體清洗機刻蝕應用等離子體灰化應用
增強或減弱浸潤性
微波等離子清洗設備適用于半導體和復合材料工業的表面活化，清化和鍍膜工藝
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