直線電機(jī)平臺>>特點
模塊化設(shè)計, 可選擇裝備無鐵芯電機(jī)或鐵芯電機(jī)
雙重線導(dǎo)軌或滑軌系統(tǒng)
四種型號 ( DGL 140, 150, 180, 200 )
行程可從100mm到3000mm
直接驅(qū)動, 無背隙和無嵌齒效應(yīng)
模塊的設(shè)計配備編碼器
編碼器的高分辨率有 5um, 1.0um或0.1um
速度可達(dá)5m/s，加速度可達(dá)10G
| 性能參數(shù) | 單位 | 參考值 |
| 加速度 | G | 10 |
| 速度（分辨率為1μm） | m/s | 5（40μm光柵距和20MHz計數(shù)頻率） |
| 速度（分辨率為0.5μm） | 2.5（20μm光柵距和20MHz計數(shù)頻率） | |
| 速度（分辨率為0.1μm） | 1.3（20μm光柵距和20MHz計數(shù)頻率） | |
| 速度（模擬量編碼器） | 8（40μm光柵距和200KHz輸入頻率） | |
| 4（20μm光柵距和200KHz輸入頻率） | ||
| *直線度 | μm | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm |
| *平面度 | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm | |
| 重復(fù)精度（分辨率為1μm） | ±3μm（40μm光柵柵距） | |
| 重復(fù)精度（分辨率為0.5μm） | ±1.5μm（20μm光柵柵距） | |
| 重復(fù)精度（分辨率為0.1μm） | ±1μm（20μm光柵柵距） | |
| 重復(fù)精度（模擬量編碼器） | ±5counts |
*所有的測量數(shù)值基于模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。
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