l?結(jié)構(gòu)簡明，使用便捷，造就成功

l?集成世界*進(jìn)的技術(shù)于一體

l?堅(jiān)固而可靠的設(shè)計(jì)

l?*的性能價(jià)格比

l?駐地的配件供應(yīng)與服務(wù)

l?世界范圍的杰出的產(chǎn)品支持團(tuán)隊(duì)

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產(chǎn)品命名規(guī)則：

類型一：NEO ABC

AB——可加工晶圓尺寸：20：6吋與8吋；30：8吋與12吋

C——等離子模組方式：1-RIE；2-微波；3-雙源；4-DCP

類型二：NEO ABCD

A——可加工晶圓尺寸：2：6吋與8吋；3：8吋與12吋

B——腔體數(shù)量

C——左側(cè)腔體等離子模組方式：1-RIE；2-微波；3-雙源；4-DCP

D——右側(cè)腔體等離子模組方式：1-RIE；2-微波；3-雙源；4-DCP

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與普通等離子清洗機(jī)的區(qū)別：

1.?TRYMAX設(shè)備具有更高的精度控制和均勻性控制

2.?TRYMAX設(shè)備的等離子體屬于各向同性等離子體，執(zhí)行的輕度灰化

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主要使用場景：

1.?實(shí)際上可以應(yīng)用到半導(dǎo)體加工的前、后道工序。但是，由于傳統(tǒng)思想約束，亞洲地區(qū)只用于后道工序。在歐美，前道工序的應(yīng)用案例還是很多。

2.?目前在后道工序中必須使用的場景是光刻（黃光工藝）之后和金屬鍍層之前。其它更多的應(yīng)用需要根據(jù)用戶和使用體驗(yàn)。

3.?更多客戶需要改善表面質(zhì)量，提高后續(xù)工藝可靠性的環(huán)節(jié)。

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等離子模組：

1.?僅RF

a)?等離子源

i.?種類：RIE (Reactive Ion Etching)

ii.?頻率：13.54MHz

iii.?功率：0-1000W

b)?勻流板/電極：鋁

c)?載臺：

i.?狀態(tài)：冷態(tài)

ii.?功率：0-1000W

iii.?冷媒：冷水

iv.?材質(zhì)：帶陶瓷環(huán)的鋁

v.?溫度范圍：20-60℃?±2℃

vi.?針：陶瓷

vii.?針不上抬

d)?工作壓力：125-750mT(*2000mT)

e)?典型應(yīng)用場景：

低溫狀態(tài)下加工：去底膜、光刻膠、PI刻蝕、PBO濺鍍刻蝕、SiO₂與Si₃N₄刻蝕、SiC刻蝕、氬濺鍍刻蝕。

2.?僅微波

a)?等離子源：

i.?種類：順流微波等離子

ii.?頻率：2.45GHz

iii.?功率：2kW或3kW

iv.?微波管：石英或藍(lán)寶石

b)?勻流板：

i.?類型：擋板

ii.?材質(zhì)：石英或陶瓷

iii.?數(shù)量：2個(gè)（上下各1）

c)?載臺：

i.?類型：加熱

ii.?冷卻：氣冷（選項(xiàng)）40psi的潔凈干燥壓縮空氣

iii.?材質(zhì)：鑄鋁

iv.?溫度范圍：20-250℃ ±2℃

v.?針：金屬

vi.?針抬升：13mm

d)?工作壓力：60-120mT(*2000mT）

e)?典型應(yīng)用場景：

高-低溫狀態(tài)下加工：去除大量光刻膠（高溫）、底膜（中-低溫）、HDIS（中、高溫）、PI刻蝕（脫模層去除）、Poly-Si,Si0₂, Si₃N₄刻蝕、TSV與凹腔清潔、SU8刻蝕、EtchBOSCH DRIE Polymer Removal

3.?雙源

a)?等離子源：

i.?微波

1)?功率：2kW或3kW

2)?微波管：石英或藍(lán)寶石

ii.?RF

1)?頻率：13.54MHz

2)?功率：1kW

b)?勻流板/電極：鋁

c)?載臺：

i.?狀態(tài)：冷態(tài)

ii.?功率：0-1000W

iii.?冷媒：冷水

iv.?材質(zhì)：帶陶瓷環(huán)的鋁

v.?溫度范圍：20-60℃?±2℃

vi.?針：陶瓷

vii.?針不上抬

d)?工作壓力：125-750mT(*2000mT）

e)?特點(diǎn)：比僅RF均勻性高，生產(chǎn)效率高

f)?典型應(yīng)用場景：

低溫狀態(tài)下加工：去除凸點(diǎn)底膜、光刻膠、PI與BCB刻蝕、PBO濺鍍刻蝕、SiO₂和Si₃N₄刻蝕、SiC刻蝕、Ta與Ti及Si刻蝕、SU8刻蝕、氬濺鍍刻蝕

4.?DCP

NEO XXXXDispenseMate?系列是具有點(diǎn)膠技術(shù)能力的集成式閉環(huán)工藝控制桌面式點(diǎn)膠系統(tǒng)。作為桌面型點(diǎn)膠設(shè)備已具備當(dāng)今很多**的自動(dòng)化點(diǎn)膠性能。

D-593型具有325×325毫米的組合點(diǎn)膠及圖像識別的X-Y軸點(diǎn)膠工作區(qū)域。

? DispenseMate? 系統(tǒng)提供的點(diǎn)膠控制技術(shù)基于NordsonASYMTEK*進(jìn)的在線點(diǎn)膠系統(tǒng)，包括閉環(huán)控制DC伺服運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、Jet- on-the-Fly噴射點(diǎn)膠功能以及 面向客戶的可直觀編程的Fluidmove ?軟件。

其它的標(biāo)準(zhǔn)配置還包括一個(gè)集成的機(jī)械高度探測器和一個(gè)具備全自動(dòng)識別可視系統(tǒng)，該系統(tǒng)帶有程序控制光源。此外，標(biāo)準(zhǔn)配置還包括可編程的閉環(huán)噴嘴以及經(jīng)過程序設(shè)定可監(jiān)測溫度和記錄數(shù)據(jù)的針頭加熱控制。同時(shí)還包括可實(shí)現(xiàn)小點(diǎn)點(diǎn)膠的動(dòng)態(tài)點(diǎn)膠控制。

離線 MFC/CPJ是D-593型的標(biāo)準(zhǔn)性能， 通過在用戶的數(shù)值范圍內(nèi)稱量樣品和手動(dòng)輸入測量值到Fluidmove中實(shí)現(xiàn)自動(dòng)流量計(jì)算。

Fluidmove的編程程序可向上兼容并能輕松轉(zhuǎn)移到其他Nordson ASYMTEK的在線系統(tǒng)， 包括 Spectrum II^TM和Quantum? ?點(diǎn)膠平臺。

此外，F(xiàn)luidmove軟件提供SPC數(shù)據(jù)記錄，用于工藝流程追溯和可選的CAD導(dǎo)入。

從批量生產(chǎn)到大規(guī)模生產(chǎn)，用戶將始終得到Nordson ASYMTEK 遍布全球的經(jīng)驗(yàn)豐富的工程、應(yīng)用發(fā)展和技術(shù)服務(wù)網(wǎng)絡(luò)的支持。

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技術(shù)規(guī)格：

運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)：

類型: 閉環(huán)控制無刷DC伺服馬達(dá)

編碼器精度: 10 微米

X-Y 定位精度: ± 75 微米 (0.003 英寸)

X-Y 貼裝精度: ± 100 微米 (0.004 英寸), 3 sigma

X-Y 加速度: 0.25 克*, S型反彈曲線

X-Y 可重復(fù)性: ± 25 微米 (0.001 英寸)

Z軸可重復(fù)性: ± 25 微米 0.001 英寸)

Z軸移動(dòng): 75 毫米 (3.0 英寸)

X-軸*移動(dòng): 325 x 325 毫米 (12.8 x 12.8 英寸)

視圖和照明

可視模式: 全自動(dòng)模式識別可視系統(tǒng)

照明: 可編程, 同軸, 紅/藍(lán) LED, 256 階調(diào)色

計(jì)算機(jī)

搭配鼠標(biāo)操作的Windows? 操作系統(tǒng)的筆記本電腦。

軟件

用戶使用環(huán)境: ? Fluidmove? 軟件

操作系統(tǒng): ? Windows? OS

膠體輸出方式

DispenseJet? 噴射閥: DJ-9500

NexJet? 噴射點(diǎn)膠系統(tǒng): NJ-8

Heli-Flow? 螺旋泵: DV-7000, DV-8000

點(diǎn)膠閥: DV-01, DV-02, DV-03, DV-05,

DV-07 和 DV-09

載荷

工具 (Z軸): 3 千克 (6.6 磅)

工作區(qū)域載荷 : 5 千克 (11 磅)

注：*有效載荷為7千克 (15.4 磅) 包括加熱平臺

點(diǎn)膠區(qū)域 (非真空加熱平臺)

(包括服務(wù)站, 攝像頭, 點(diǎn)膠閥, 和高度探測器) ：225 x 275 毫米(?8.9 x 10.8 英寸)

廠區(qū)要求

系統(tǒng)占地面積 (不帶筆記本電腦): 567 x 764 x 664 毫米 (寬 x 深 x 高)

空氣供應(yīng): 85 升/分鐘, 620 kPA?(3 CFM @ 90 psi)

電源: 100-240 VAC, 5 安培50/60 赫茲, 單相

重量: 45 千克 99.2 磅)

標(biāo)準(zhǔn)兼容: CE; SEMI-S2; SEMI-S8; 兼容WEEE/RoHs

標(biāo)準(zhǔn)特征

動(dòng)態(tài)點(diǎn)膠控制 (DDC)

閉環(huán)控制, 集成機(jī)械高度探測器

閉環(huán)針頭/噴嘴加熱控制

飛行中噴射 (JOF)

空氣低壓警告，帶可調(diào)節(jié)設(shè)置點(diǎn)

低膠量感應(yīng)器

精密空氣調(diào)節(jié)閥

服務(wù)站: 集成真空清潔器/針頭感應(yīng)器

基于軟件, 離線MFC/CPJ

可選配件

激光高度探測器

低膠量感應(yīng)器硬件和軟件

針頭加熱組件(兼容DV系列點(diǎn)膠閥)

軟件: CAD數(shù)據(jù)導(dǎo)入

軟件: SECS/GEM界面

系統(tǒng)外框帶外置控制箱

加熱平臺: 非真空或真空

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