一，FT-17是∮130mm以下各類晶片平坦度測試裝置，該裝置采用激光斜射干涉技術
二，可設定1，2，3，4，5μm/fringe的干涉條紋。
三，接入標準的解析裝置，以表示各類晶片的平面度。測定結果，可用各種測定值，等高線圖，俯視圖，斷面圖等圖表示。
四，無須校準
五，以專用解析裝置控制程序使操作變得容易
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?技術參數：
1，測定方法：光波干涉方法（傾斜入射）
2，光源：半導體激光（655nm，3mw）
3，樣片尺寸：∮130mm以下，但是平坦度在∮100mm以下
4，樣片厚度：2000um以下（平坦度測定250um-1000um以下）但是承受臺*10mm、其他厚度請以其他方式商談
5，樣片的種類：晶片（硅、化合物、酸化物、玻璃）金屬片、磁碟（鋁、玻璃）模具等?鏡面及非鏡面（除反射率低的非鏡面）
6，樣片的傾斜角度：比垂直向前傾斜8度
7，干涉計設定感度：1，2，3，4，5μm/線距
8，測定范圍：線距感光的30倍（線距狀況、有比鏡片尺寸等30倍以下的場合）
詳情請咨詢或QQ
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