?高溫探針臺系統(tǒng)
加熱臺臺體重60公斤
4″卡盤(卡盤大小可選)
卡盤X/Y方向行程:4″(行程可選),移動精度10μm
θ向旋轉(zhuǎn)360°轉(zhuǎn)動,旋轉(zhuǎn)微調(diào)+-15°,調(diào)節(jié)精度0.1°
卡盤快速升降范圍4mm,可調(diào)節(jié)顯微鏡在 X-Y 平面2"x2"范圍內(nèi)移動,精度1微米,真空開關(guān)獨(dú)立控制卡盤上吸附空和吸附環(huán)
水箱(風(fēng)扇熱式水冷卻機(jī))
尺寸:460mm寬x360mm長x650mm高
重量:34KG
雙路水冷循環(huán)
流量:20L/min
額定值:220V 50HZ 1.9A
溫度控制器
室溫加溫到300度,任何一區(qū)段+-1%;設(shè)定溫度大于300度時(shí)+-1.5%
50段程序編排,前30段具備自動跳轉(zhuǎn)功能
光源
150W 高功率白色照明燈源(亮度可以無級調(diào)節(jié))



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