?高溫探針臺系統
加熱臺臺體重60公斤
4″卡盤（卡盤大小可選）
卡盤X/Y方向行程：4″（行程可選），移動精度10μm
θ向旋轉360°轉動，旋轉微調+-15°,調節精度0.1°
卡盤快速升降范圍4mm，可調節顯微鏡在 X-Y 平面2"x2"范圍內移動,精度1微米，真空開關獨立控制卡盤上吸附空和吸附環
水箱（風扇熱式水冷卻機）
尺寸：460mm寬x360mm長x650mm高
重量：34KG
雙路水冷循環
流量：20L/min
額定值：220V 50HZ 1.9A
溫度控制器
室溫加溫到300度，任何一區段+-1%;設定溫度大于300度時+-1.5%
50段程序編排，前30段具備自動跳轉功能
光源
150W 高功率白色照明燈源（亮度可以無級調節）
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