標準型探針臺
可兼容DC測試、射頻、高頻、微波測試
直流到高頻
產品特點：
XY高精度大行程平臺調節，Z軸快速升降，U型面板設計，結構穩定
可搭配體式顯微鏡/高倍率長工作距離視頻顯微鏡/高分辨率金相顯微鏡、熒光顯微鏡等…
本圖中搭配變焦比12X的單筒視頻顯微鏡、BT-100型探針座，用于安裝高頻探針及線纜使用
探針座可根據移動精度選擇，吸附方式可選磁吸附或真空吸附
顯微鏡組件帶有XYZ三方向調節裝置，配置連接組件，可安裝各類顯微鏡主體
可升級半自動系統
產品規格：
組件/型號 | APS150 |
顯微鏡配置 | 單筒視頻顯微鏡 |
真空吸附卡盤 | 6寸不銹鋼150mm |
主體平臺XY移動行程 | 150mm*150mm |
顯微鏡位移臺行程 | 25mm*25mm |
旋轉角度 | 0-30O |
Z軸行程 | 5mm |
探針臺本體 | 固定式 |
可放置樣品尺寸 | 5mm*5mm至150mm(6寸) |
真空卡盤平坦度 | 10um |
尺寸 | 580mm*460mm*700mm |
重量 | 60kgw |
配置可選項：
*?體式顯微鏡/高倍率超長工作距離視頻顯微鏡/高分辨金相顯微鏡
*?真空吸附加熱卡盤（溫度：200℃/300℃或其它）
*?可選低溫制冷卡盤
*?低溫罩箱（用于充入氮氣低溫制冷）
*?客戶定制化移動平臺
*?氣壓式顯微鏡升降調節
*?各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…
*?低電容、電流探測裝置
*?高電壓探測裝置
*?雷射切割裝置
* CCD或C-MOS視頻成像裝置
?
探針夾具
*?靜音真空泵?
*?屏蔽箱
*?防振桌
*?適配器
*?轉接頭
*?電學測試設備
*?其它外圍組件
如需更多詳細技術參數請致電或聯系我們?
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