無(wú)氧烘箱

概述：

NLWYGH-L系列無(wú)氧烘箱箱體的尺寸大小可以用戶需求進(jìn)行設(shè)計(jì)生產(chǎn)，應(yīng)用于半導(dǎo)體、芯片、固化封閉、金屬表面處理等高端科研、制造行業(yè)。通過(guò)抽空、充注惰性氣體進(jìn)行工藝預(yù)處理。

 

NLWYG-L無(wú)氧烘箱選型表

常規(guī)型號(hào)		NLYW-G-H
		234L		392L		576L		810L		1ML
內(nèi)部尺寸	深mm	600		700		800		900		1000
	寬mm	650		700		800		900		1000
	高mm	600		800		800		1000		1000
外部尺寸	深mm	850		1300		1400		1500		1600
	寬mm	950		1100		1200		1300		1400
	高mm	1550		1200		1200		1400		1400
性能指標(biāo)	溫度范圍	RT+10～200/300/400/500/600/700/800℃
	溫度指標(biāo)	波動(dòng)度≤±0.5℃，溫度均勻度≤±2.5%
	升溫時(shí)間	RT～600℃≤90min
	抽空極限	≤-133Pa/-50Pa/-10pa
	補(bǔ)氣方式	惰性氣體/特殊氣體 （用戶自備氣體）
	抽補(bǔ)控制	自動(dòng)控制（先抽到設(shè)定真空度再充入惰性氣體）
	氧傳感器	配氧濃度監(jiān)控系統(tǒng)
	壓力傳感器	配高壓監(jiān)控/卸壓系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)材質(zhì)	外殼材質(zhì)	冷軋鋼板靜電噴粉（白色）
	內(nèi)膽材質(zhì)	不銹鋼板（內(nèi)承壓方式）
	保溫材質(zhì)	超細(xì)玻璃纖維
控制系統(tǒng)	加熱方式	合金電加熱器
	內(nèi)部循環(huán)	磁流體/長(zhǎng)軸電機(jī)傳動(dòng)箱內(nèi)風(fēng)葉進(jìn)行強(qiáng)制鼓風(fēng)循環(huán)
	冷卻方式	停止加熱自然冷卻方式
測(cè)試孔		≥10芯法蘭接口
數(shù)據(jù)儲(chǔ)存與擴(kuò)展接口		可選SD卡、RS485、USB
裝機(jī)功率	Kw	8	13		16		25		35
	電源要求	220\380V±10%，50HZ±1，三相四線+接地線，保護(hù)接地電阻＜4Ω
環(huán)境條件	使用條件	5～40℃、相對(duì)濕度≤85%R.H時(shí)，可滿足全部指標(biāo)
滿足標(biāo)準(zhǔn)	GB、G**
聲明: 1.     除以上所列規(guī)格外，可根據(jù)用戶要求進(jìn)行非標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造。 2.     因產(chǎn)品更新導(dǎo)致的參數(shù)、外觀更改，恕不另行通知。