1.一鍵式全自動執行清洗和吹干動作,整個過程無需人工干預。
2.采用彩色觸摸屏作為人機操作界面;集成操作和錯誤、報警顯示。
3.出水壓力可調。
主電機(清洗、吹干)轉速可調。
清洗、吹干時間可調。
4.適用于3”/4”/5”/6”/8”Wafer;
適用于6”和8”的frame。
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