1700型三路氣體配比器CVD管式爐系統
1 | 產品名稱 | 1700型三路氣體配比器CVD管式爐系統 |
2 | 常規型號 | NBD-T1700-60IT150-D3ZHZ |
3 | NBD-T1700-80IT150-D3ZHZ | |
4 | 爐膛模式 | 立體式 |
5 | 顯示模式 | 7英寸觸摸屏(LCD) |
6 | 爐膛材料 | 進口纖維 |
7 | 加熱元件 | 進口合金加熱絲 |
8 | 極限溫度 | 1600℃ |
9 | 工作溫度 | ≤1550℃ |
10 | 升溫速率 | ≤20℃(建議:10℃/min) |
11 | 加熱溫區 | 單溫區 |
12 | 溫區長度 | 440mm |
13 | 恒溫區長 | 200mm |
14 | 爐管材質 | 高純剛玉 |
15 | 爐管常規直徑 | 50mm |
16 | 60mm | |
17 | 爐管長度 | 800mm |
18 | 密封方式 | 不銹鋼真空法蘭 |
19 | 氣?密?性 | 真空法蘭和石英爐管的氣密性**可達4.03×10-3Pa |
20 | 控制模式 | 智能PID多段程序控溫 |
21 | 控溫精度 | ±1℃ |
22 | 溫度曲線 | 30段"時間—溫度曲線"任意可設 |
23 | 預存曲線 | 可預存10條溫度曲線 |
24 | 超溫報警 | 有 |
25 | 過流保護 | 有 |
26 | 斷偶提示 | 有 |
27 | 測溫元件 | B型熱電偶 |
28 | 電氣認證 | CE認證 |
29 | 供電電源 | 220V?50Hz~60Hz |
30 | 整機功率 | 3KW |
31 | 氣體通道 | 可連接3種氣源 |
32 | 流?量?計 | 浮子流量計 |
33 | A路量程 | 100SCCM |
34 | B路量程 | 200SCCM |
35 | C路量程 | 500SCCM |
36 | 氣路壓力 | -0.1~0.15?MPa |
37 | 系統真空? | 5~10Pa(需要達到其它真空度時,需選配不同的抽真空裝置) |
38 | 售后服務 | 12個月質保,終身保修 |
39 | 包裝形式 | 多層膠合板包裝箱 |
40 | 隨機配件 | 石英爐管、爐管堵塞、O型密封圈、防護手套、坩堝爐鉤、說明書、聚四氟管、不銹鋼卡套接頭、厚壁硅膠管、5mm內六角扳手。 |
41 | 整套尺寸 | 左右:860mm;前后:480mm;高度:1360mm |
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