SUSS MicroTecv美國蘇斯公司生產的半導體和太陽能行業用光刻機，目前得到業界的廣泛認同，該系列光刻機曝光系統的曝光燈，主要是由德國歐司朗公司生產的曝光燈進行配套供應。歐司朗曝光燈系列，具體良好的光通量，穩定的光強度以及**的品質受到業界的青睞。目前給蘇斯光刻機配套的相關參數如下：
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HBO? short-arc mercury varour lamps for microlithography |
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Lamps for SüSS Equipment |
Lamp type |
Max life[h] |
Equipment(適用機型） |
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HBO 200W/DC |
1000 |
M**3 |
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HBO 350W/S |
600 |
MA4,MA6,MA8,MA150,M**3,M**21,UV300/500 |
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HBO 1000W/D |
1000 |
MA150,MA200,MA4,MA6,MA8 |
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HBO 5000W/S |
1000 |
MA300 |
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以下是歐司朗曝光燈的技術參數：
如果有需要suss 蘇斯光刻機用歐司朗系列曝光燈的客戶，請與我們公司聯系，我們全線代理德國歐司朗曝光燈，原裝進口，品質保證，交貨及時。
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