Aera FC-D980系列數碼 MFC（質量流量控制器）和 MFM（質量流量計）具有卓越的性能和通用性，從而大幅節約了成本且易于使用。多種輸出選擇允許進行模擬或數碼控制，可用于目前大多數控制和通信配置。為適應您優先選擇的價值和功能，該產品線擁有單氣體和多氣體、多范圍的 MFC。多氣體、多范圍可以通過顯著減少備件庫存要求降低成本。RS-485 通信（帶有轉換器的 RS-232）與全面的診斷和警報功能相結合，達到了全面的監控和控制性能，操作參數就在您的彈指之間。
性能:
出色的**性、可重復性和穩定性
大幅節約了成本
**限度的運行通用性
****的可靠性
特點:
多氣體、多范圍選擇
模擬、模擬/數碼以及數碼模式
壓電控制閥
多警報和診斷功能
金屬密封，泄漏率為1x10-10
電解拋光且超潔凈氣體濕潤表面
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