TKSCT氣體過濾器系列有:
哈式合金氣體過濾器
不銹鋼氣體過濾器
PTFE氣體過濾器
IGS氣體過濾器
陶瓷氣體過濾器
材質結構
超高純在線式過濾器■哈式合金氣體過濾器全哈氏合金結構■高溫及動態壓力測試■不銹鋼氣體過濾器全316L不銹鋼結構■尺寸緊湊，可變的末端連接■ PTFE氣體過濾器濾芯為PTFE材質,本體材質為316L，內部電解拋光■ IGS氣體過濾器具有高可靠性耐沖擊和震動■陶瓷氣體過濾器內部為316L 電解拋光處理廣泛應用于化學品行業
產品特性
? 流量大，12-800SLPM
? 受腐蝕的部位采用哈氏合金，適用于惰性氣體及腐蝕性強的氣體
? 卓越的性能滿足大多數半導體工藝氣體
? PTFE材料具備良好的抗腐蝕性能及兼容性
? 過濾等級為0.0025μm，即使在高流速的情況下，也不會引起出口端壓力的下降
? 內部拋光等級為5Ra，防止其內部污染
? 通過高溫氮氣及去離子水清潔，滿足半導體行業的標準
? 清潔及包裝在100級潔凈室內
? ****氦氣檢測
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