固態射頻電源常見的型號包括2MHZ, 13.56MHZ ,27MHZ?和64MHZ，最常應用于等離子加工。我們可以根據客戶的需要，提供1 KW,3KW,10KW,20KW等的不同功率等級設備。
產品特性：
應用范圍：
??應用于所有等離子加工，包括PECVD,HDPCVD,PVD,ALD?等和集成電路，太陽能電池，平板顯示器，LED，數據儲存設備的制造
?具體產品詳情請參見：
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