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Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80上海伯東銷售維修德國(guó)普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可達(dá)到 71 l/s 高性能渦輪分子泵. HiPace 80 對(duì)所有氣體的高抽速和更高壓縮比使其廣泛應(yīng)用于真空行業(yè). 集成驅(qū)動(dòng)電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過保護(hù)等級(jí) IP54, 半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認(rèn)證. 通過控制器監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)盡可能保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 80 可以任意位置安裝. 自然風(fēng)冷, 多種配件可選滿足廣泛應(yīng)用.渦輪分子泵 HiPace 80 特性穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)和經(jīng)過實(shí)踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求分子泵高氣流量和高抽速基本款任意角度安裝防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認(rèn)證渦輪分子泵 HiPace 80 技術(shù)參數(shù)
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進(jìn)氣口 |
DN 63 ISO-K |
DN 63 CF-F |
DN 40 ISO-KF |
DN 63 ISO-K |
DN 63 CF-F |
DN 40 ISO-KF |
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圖片 |
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分子泵控制器 |
型號(hào) |
標(biāo)配 |
標(biāo)配 |
標(biāo)配 |
選配 |
選配 |
選配 |
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抽速 |
Ar L/S |
66 |
66 |
30 |
66 |
66 |
30 |
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H2 L/S |
48 |
48 |
38 |
48 |
48 |
38 |
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He L/S |
58 |
58 |
41 |
58 |
58 |
41 |
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N2 L/S |
67 |
67 |
35 |
67 |
67 |
35 |
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壓縮比 |
Ar |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
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H2 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
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He |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
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N2 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
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全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量 |
Ar hPa l/s |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
|
H2 hPa l/s |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
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He hPa l/s |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
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N2 hPa l/s |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
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極限壓力 |
hPa |
＜1X10-7 |
＜5X10-10 |
＜1X10-7 |
＜1x10-7 |
＜5x10-10 |
＜1x10-7 |
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**預(yù)抽真空 |
N2 |
22 |
22 |
22 |
22 |
22 |
22 |
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電壓 |
VDC |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
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**電流 |
A |
4.6 |
4.6 |
4.6 |
5.5 |
4.6 |
4.6 |
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轉(zhuǎn)速± 2 % |
RPM |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
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聲噪 |
dB(A) |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
|
允許**磁場(chǎng) |
mT |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
|
啟動(dòng)時(shí)間 |
min |
1.7 |
1.7 |
1.7 |
3 |
3 |
3 |
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重量 |
kg |
2.4 |
3.8 |
2.4 |
2.1 |
3.5 |
2.1 |
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環(huán)境中使用
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80 套裝:上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺(tái) HiPace 80 分子泵主機(jī)和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應(yīng)用, 可以安裝在所有情況下并輕松調(diào)試渦輪分子泵. 套裝內(nèi)配置如下:
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分子泵 |
分子泵電源與控制器連接線 |
風(fēng)扇 |
OmniControl 200 |
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
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接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
分子泵應(yīng)用 HiPace 80分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析半導(dǎo)體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)上海伯東客戶分子泵應(yīng)用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要針對(duì)金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長(zhǎng).
上海伯東客戶分子泵應(yīng)用二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常壓光電子能譜儀設(shè)備.JPG)
上海伯東客戶分子泵應(yīng)用三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔體.JPG)
渦輪分子泵 HiPace 80 目前在售型號(hào)：分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 40 ISO-KF分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 40 ISO-KF分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 40 ISO-KF其他普發(fā)分子泵推薦
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分子泵組 Hicube 80 |
分子泵 HiPace 60 P |
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上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空** 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>
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