| UP超純水水質 | |
| 電阻率@25℃ | 10~18.25MΩ.cm |
| 總有機碳TOC | <10ppb |
| 微生物 | <1CFU/ml |
| 其它參數 | |
| 產水量@25℃ | 60升/小時 |
| 出水流速 | 1.5~2升/分鐘 |
| 給水水源TDS | <300ppm |
| 給水壓力 | 0.15~0.5Mpa |
| 電源 | 220VAC/50Hz |
| 重量 | 約55Kg |
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