**的智能化設計、高配置、高穩定性機型。PC控制系統,更好的可操控性可編程設計。5“人機界面,全中文操作系統,更方便操作。適合多種材料勻膠、制版工藝。 廣泛應用于微電子、光電子、通訊、微機械、材料科學及新能源等領域。
勻膠機主要構造:
采用無刷伺服電機,全閉環數字編碼器測速機構,實測整個過程馬達速度。機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、**生銹,便于清洗。排風和抽氣系統位于載片臺底部(以利于排風效率和勻膠均一性)。透明可視密封蓋可以在旋涂作業時完全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發。配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口,由界面集中控制。
勻膠機主要性能指標:
機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)
旋涂程序:
用戶可通過PC界面設置和存儲工藝參數,最多可存儲15組參數,支持多段速。
轉動速度:0-5,000rpm 旋涂加速度:0-5000rpm/sec,加、減速時間可自由設置(0-20000ms)
馬達轉速穩定度 ±1rpm
測速精度:工藝時間設定: 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
可鍍膜尺寸:5mm-200mm(8〞)
旋涂作業均勻性:±3
設備尺寸:380mm W × 290mm D × 260mm H
配置參數:
勻膠腔室內徑Ф260mm ,不銹鋼材質、可視透明上蓋 抽氣接口: Ф8mm快速接頭,配Ф8mm透明抽氣管
真空吸盤:標配兩個。
真空系統:100L/min無油真空泵一臺
電源輸入: AC220V/240V 50HZ
整機功率:630W (真空泵230W 主機400W)
機身重量:10Kg
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